Halfgeleiders

Geschiedenis

De halfgeleidersector ontwikkelde zich vanuit de vooruitgang in de vaste-stoffysica en de fabricage van transistors in het midden van de twintigste eeuw en breidde zich vervolgens uit met geïntegreerde schakelingen en de overstap naar grootschalige, sterk gecontroleerde productie. In de loop van de tijd verschoof de productie van relatief eenvoudige apparaatassemblage naar complexe waferverwerking, met stappen voor lithografie, depositie, etsen, inspectie en verpakking. Naarmate de afmetingen van de apparaten kleiner werden en de schakeldichtheid toenam, werd halfgeleiderfabricage een van de meest apparatuur-intensieve industriële sectoren, met een sterke vraag naar gespecialiseerde tools voor zowel front-end- als back-endactiviteiten.

Toepassingen

Halfgeleiderapparatuur wordt gebruikt om chips te produceren voor consumentenelektronica, autosystemen, industriële besturing, telecommunicatie, medische hulpmiddelen en computerhardware. Kerntoepassingen omvatten waferbereiding, reinigen, depositie, etsen, beeldvorming, boren, routeren, die bonding, flip-chip bonding en assemblage of verpakking. De sector ondersteunt ook de fabricage van printplaten en gerelateerde processen, waarbij precisie, herhaalbaarheid en controle van besmetting essentieel zijn. In markten voor gebruikte machines worden deze systemen doorgaans gezocht voor productie-uitbreiding, vervanging van productielijnen, procesupgrades en capaciteitsondersteuning in fabs en verpakkingsfaciliteiten.